VAPORIZATION PRODUCTS

A tecnologia avançada de vaporização permite uma produção de vapor mais pura e eficiente.

Muitos processos industriais e semicondutores precisam converter líquidos, incluindo água e outros precursores líquidos, em vapores altamente controlados e puros.

A vaporização é uma transição de fase da fase líquida para a fase gasosa. Um vaporizador, portanto, é qualquer sistema que converte um material líquido para um estado gasoso. Embora a vaporização seja obtida de várias maneiras diferentes, todos os vaporizadores modernos – como os vaporizadores de água – têm várias características comuns:

• Aumente a temperatura e/ou reduza a pressão ambiente do líquido.
• Sistemas fechados para capturar e controlar o fluxo de vapor.
• Utilize o sistema de feedback e loop de controle para regular a taxa de vaporização.

Principais Aplicações:

• Vaporização/umidificação de água.
• Deposição química de vapor.
• Deposição de filmes finos para características térmicas, ópticas ou de dureza aprimoradas.
• Vaporização de monômeros para disposição de filme de polímero a vácuo.
• Geração de vapor de calibração.
• Vaporização de hidrocarbonetos líquidos.