METAL SEALED THERMAL & PRESSURE-BASED GAS MASS FLOW CONTROLLERS & METERS

Caminho de fluxo de altíssima pureza. Controle ultrapreciso e livre de contaminantes.

Muitos dos processos avançados de fabricação de dispositivos eletrônicos atuais exigem medição e controle extremamente precisos e altamente repetíveis de gases ultrapuros caros e precursores líquidos. A Brooks Instrument atende a essas necessidades com nossos controladores e medidores de fluxo de massa térmicos e baseados em pressão selados em metal que mudam o jogo. O controle químico preciso é obtido por meio da combinação de sensores de medição ultraestáveis ​​e altamente precisos, válvulas de controle de precisão rápida e eletrônicos digitais poderosos. A pureza da química do processo é garantida por nosso caminho de fluxo molhado totalmente em metal, de alta integridade (estanque), ultra-alta pureza, projetado para impedir que contaminantes externos, como umidade e oxigênio, corrompam o meio do processo.

Principais aplicações:

• Processos de fabricação de dispositivos semicondutores de silício – Etch, Strip, CVD, ALD, PVD, Epi, Difusão, Implante e RTP
• Compound semiconductor device fabrication processes – MOCVD
• Revestimentos de superfície projetados com precisão
• Sistemas analíticos
• Aplicações de processos de vácuo