METAL SEALED THERMAL & PRESSURE-BASED GAS MASS FLOW CONTROLLERS $ METERS

Caminho de fluxo de altíssima pureza para aplicações desafiadoras de alta temperatura.

Muitos dos processos avançados de fabricação de dispositivos eletrônicos atuais exigem medição e controle extremamente precisos e altamente repetíveis de gases ultrapuros caros e precursores líquidos. A Brooks Instrument atende a essas necessidades com nossos medidores e controladores de vazão mássica térmica selados em metal de alta temperatura. O controle químico preciso é obtido por meio da combinação de sensores de medição ultraestáveis ​​e altamente precisos, válvulas de controle de precisão rápida e eletrônicos digitais poderosos. A pureza da química do processo é garantida por nosso caminho de fluxo molhado totalmente em metal, de alta integridade (estanque), ultra-alta pureza, projetado para impedir que contaminantes externos, como umidade e oxigênio, corrompam o meio do processo.

Principais aplicações:

• Fabricação de fibras ópticas para medidores de vazão de alta temperatura – MCVD
• Processos de fabricação de dispositivos semicondutores de silício
• CVD (entrega de precursores na forma de vapor)
• Tira (vapor de água)
• Etch (vapor de água para passivação)